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白光干涉儀 | 439000.00 | 按行業標準提供服務 | 1.光源:白光LED 2.影像系統 1024×1024 3.干涉物鏡 10×(可選2.5×、5×、20×、50×、100×) 4.光學ZOOM 0.5×(可選0.375×、0.75×、1×) 5.標準視場 0.98×0.98mm(10×) 6.物鏡塔臺 3孔手動,可選5孔電動 7.XY位移平臺 尺寸 320×200mm 移動范圍 140×100mm 負載 10kg 控制方式 手動和電動兼容型 8.水平調整 ±5°,手動 9.Z軸聚焦 行程 100mm 控制方式 電動 10.Z向掃描范圍 10 mm 11. 0.1nm分辨率時掃描速度 1.85μm/s 12.形貌重復性STR*1 0.1nm 13.粗糙度RMS重復性*2 0.005nm 14.臺階測量 準確度:0.3% 重復性:0.08% ,1σ 15.儀器主機重量 140㎏ 16.主機尺寸(長×寬×高) 700×600×900mm 17.環境條件: 工作溫度 0℃ ~30℃,溫度梯度 < 2℃/60分鐘 相對濕度 5%-95%RH,無凝露 環境振動 VC-C或更優 軟件監控噪聲*4 3σ≤4nm 氣浮隔振 0.6Mpa穩壓清潔氣源,除油、除水,氣管直徑6mm(若接客戶端氣源) 電源 100-240VAC,50/60Hz,功率200W 其他 無強磁場,無腐蝕氣體 18.認證 CE | 1.0臺 | 中圖儀器 SuperView W1 | 439000.00 | **** |