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中山大學微電子科學與技術學院刻蝕機采購項目

廣東-廣州狀態：公告

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更新時間:

2021年07月10日

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關鍵信息:

微電子

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********學院刻蝕機采購項目

基本信息

項目編號	****
項目名稱	********學院刻蝕機采購項目
項目類型	貨物采購	申購主題	刻蝕機	采購單位	****
項目預算	***	采購開始時間	2021-07-10 22:04	采購結束時間	2021-07-16 09:00	是否送貨	是
期望收貨時間	合同簽訂后60天交貨	經辦人	李老師	經辦人電話	020-****5084-811
送貨地址	省市區****校區紅樓12棟
備注	1、國內供貨請報含稅人民幣價；境外供貨（進口）請報免稅人民幣價或外幣價，**公司必須有境外人民幣收款賬戶。 2、進口貨物中如有國內供貨部分，供應商在報價時應分別報價，境外供貨部分、國內供貨部分的幣種選擇見第1條，并分別簽訂進口貨物購銷協議和國內采購合同。 3、**學校不收取任何費用。 4、技術參數中標注有“★”號的條款必須實質性響應，負偏離（不滿足要求）將導致報價無效。

設備列表

采購設備數量參考品牌詳細響應要求

刻蝕機

1臺

【SAMCO】【牛津儀器】

詳情請進入系統查看

"刻蝕機"技術要求

序號技術要求內容評分等級是否需要附件說明

1	設備外形：一體機型；	重要	否
2	設備大小：不大于1100mm(長)X780mm(寬)X1080mm(高)，機臺占地面積不大于1100mmX780mm；	重要	否
3	刻蝕樣片大小：6英寸片，兼容兩英寸片以及碎片；	重要	否
4	工藝腔：鋁材一體成型，內圓外圓，腔室內徑不大于300mm，高度不大于160mm；樣片工藝距離不小于90mm；刻蝕精度（均勻度）：±5%；	非常重要	是
5	工藝進氣方式：工藝腔頂部四周進氣；	重要	否
6	機臺抽氣方式：腔室側下方抽氣，抽口直徑不小于100mm；	非常重要	是
7	★工藝射頻電源：不大于300W，13.56MHZ，自動匹配，最小穩定工藝啟輝射頻功率5W；	非常重要	是
8	真空系統：采用分子泵組，分子泵抽速不大于620L/s，前級泵抽速不小于10L/s；	重要	否
9	★工藝壓力范圍：0~1Torr，精度<0.2% of Read Value；	非常重要	是
10	氣路系統：配置4路工藝氣體、一路N2吹掃氣體，一路CDA；	重要	否
11	工藝氣體：O2、Ar、CF4與CHF3，流量范圍0~300scmm，流量控制精度±0.3% of Full Scale；	重要	否
12	控制系統：基于C語言，自主研發，全自動控制流程，帶有recipe菜單，日志與數據記錄，異常報警與處理，登錄權限管理；	重要	否
13	人機交互界面：15英寸觸摸屏，位于機臺操作面正上方，水平放置；	重要	否
14	刻蝕材料：Si、SiO2、石英、SiNx、Cu、Al以及有機材料PR；	重要	否
15	★邊長小于2mm的小樣片在樣片臺上不翻轉不掉落；刻蝕速率：SiO2/SiNx：>100nm/min; Si:>150nm/min; PR:>300nm/min；刻蝕能力：可刻蝕10nm以上各工藝節點；	非常重要	是
16	售后服務要求: 1.廠商需提供技術人員24小時電話響應。機臺出現故障后，廠商需在1個小時內給出響應。 2.若廠商技術人員能夠遠程確認機臺故障原因：在2小時候內指導用戶完成機臺故障排除。如果遠程無法解決機臺故障，廠商需在24個小時內到達設備現場進行故障排除；對于一般故障，需在設備現場24個小時內解決問題。若24小時內無法解決，廠家24小時內給出解決方案，并在72小時內解決。 3.若廠商技術人員不能遠程確認機臺故障原因：需在24小時內到達設備現場進行機臺故障原因排查。對于一般故障，廠商需在24小時內解決問題。若24小時內無法解決，廠商要在24小時內給出解決方案，并在72小時內解決。 4.質保期外，廠商需在48小時內提供維修方案，經用戶確認，按維修方案進行故障排除。 5.對于重大故障如更換零部件等，廠商需在24小時內到達設備現場，并在24小時內解決故障。 6.保修范圍： 6.1.保修期內，整機所有部件非人為損壞情況下，需提供所有部件全部免費保修保換服務； 6.2.保修期內或保修期外，如發現機臺設計重大缺陷，需提供換貨與退貨服務。	重要	否
17	培訓要求: 1、質保期內，廠家提供兩次免費現場機臺培訓服務。現場機臺培訓服務包含：機臺工作原理與結構組成培訓、機臺操作培訓、機臺工藝調試培訓、機臺保養操作培訓、機臺故障維護培訓； 2、質保期外，廠家再提供一次現場培訓服務； 3、培訓時長：直到所有參與培訓人員（培訓人數不限）全部可以獨立操作維護機臺。	重要	否
18	尾氣處理通道要求：支持抽風機通過管道排放至外部	重要	否

1、注冊審核時間為（工作日8：30 - 17:30），一般為當個工作日。
2、繳費確認時間（工作日8：30 - 17:30）：
a、對公轉賬一般到賬時間需要四個小時，繳費確認需要四個小時以上，節假日期間請使用微信支付
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3、資料準備時間為1-2日，請供應商提前準備。
4、供應商第一次報價可能需要較長時間，請提前報價。